  | H01J 37/00 | Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 haben Vorrang; rastersondenmikroskopische Methoden oder Geräte G01Q; kontaktloses Prüfen von elektronischen Schaltungen unter Verwendung von Elektronenstrahlen G01R 31/305) [2, 5] | Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 take precedence; scanning-probe techniques or apparatus G01Q; contactless testing of electronic circuits using electron beams G01R 31/305) [2, 5] |
