| G | Sektion G — Physik | SECTION G — PHYSICS |
| G03 | Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie (Aufzeichnen durch Abtasten und Umwandeln in elektrische Signale H04N) [4] | PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY (reproduction of pictures or patterns by scanning and converting into electrical signals H04N) [4] |
| G03F | Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür (Lichtsetzmaschinen B41B; lichtempfindliche Materialien oder fotografische Verfahren G03C; Elektrografie, lichtempfindliche Schichten oder Verfahren dafür G03G) | PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR (phototypographic composing devices B41B; photosensitive materials or processes for photographic purposes G03C; electrography, sensitive layers or processes G03G) |
| G03F 1/00 | Herstellung von Kopiervorlagen für die fotomechanische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen (fotomechanische Verfahren allgemein G03F 7/00) [3] | Preparation of originals for the photomechanical production of textured or patterned surfaces (photomechanical processes in general G03F 7/00) [3] |
| G03F 1/02 | . | Herstellung von Kopiervorlagen, die ein Relief simulieren, durch fotografische Verfahren |
| . | by photographic processes for production of originals simulating relief |
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| G03F 1/04 | | |
| G03F 1/06 | | . | from printing surfaces [5] |
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| G03F 1/08 | . | Kopiervorlagen mit anorganischen Bildschichten, z.B. Chrommasken (G03F 1/12 hat Vorrang) [5] |
| . | Originals having inorganic imaging layers, e.g. chrome masks (G03F 1/12 takes precedence) [5] |
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| G03F 1/10 | . | durch Belichten und Auswaschen von pigmentierten oder gefärbten organischen Schichten; durch Färben makromolekularer Muster [5] |
| . | by exposing and washing out pigmented or coloured organic layers; by colouring macromolecular patterns [5] |
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| G03F 1/12 | . | durch Belichten silberhalogenidhaltiger lichtempfindlicher Materialien oder lichtempfindlicher Materialien des Diazo-Typs [5] |
| . | by exposing silver-halide-containing photosensitive materials or diazo-type photosensitive materials [5] |
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| G03F 1/14 | . | Originale, gekennzeichnet durch strukturelle Einzelheiten, z.B. Träger, Deckschichten, ringförmige Maskenhalterahmen [5] |
| . | Originals characterised by structural details, e.g. supports, cover layers, pellicle rings [5] |
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| G03F 1/16 | . | Originale mit freien Öffnungen, z.B. für Korpuskularstrahlenlithografie [5] |
| . | Originals having apertures, e.g. for corpuscular lithography [5] |
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| G03F 3/00 | Farbtrennung; Berichtigung des Farbwertes (fotografische Kopierapparate allgemein G03B) | Colour separation; Correction of tonal value (photographic copying apparatus in general G03B) |
| G03F 3/02 | | |
| G03F 3/04 | . | durch fotografische Verfahren |
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| G03F 3/06 | | |
| G03F 3/08 | . | durch fotoelektrische Mittel |
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| G03F 3/10 | . | Prüfen des Farb- oder Tonwertes der Auszugsnegative oder -positive |
| . | Checking the colour or tonal value of separation negatives or positives |
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| G03F 5/00 | Rasterverfahren; Raster dafür | Screening processes; Screens therefor |
| G03F 5/02 | . | durch Projektion (Kameras G03B) |
| . | by projecting methods (cameras G03B) |
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| G03F 5/04 | . . | durch Wechsel der Rasterwirkung |
| . . | changing the screen effect |
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| G03F 5/06 | . . | durch Wechsel der Blendenwirkung |
| . . | changing the diaphragm effect |
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| G03F 5/08 | | |
| G03F 5/10 | . . | durch Kreuzlinienraster |
| . . | using cross-line screens |
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| G03F 5/12 | . . | durch andere, z.B. Kornraster |
| . . | using other screens, e.g. granulated screen |
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| G03F 5/14 | | |
| G03F 5/16 | . . | durch graue Halbtonraster |
| . . | using grey half-tone screens |
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| G03F 5/18 | . . | durch Farb-Halbtonraster |
| . . | using colour half-tone screens |
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| G03F 5/20 | . | durch Raster für Tiefdruck |
| . | using screens for gravure printing |
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| G03F 5/22 | . | durch Kombination verschiedener Raster; Beseitigung von Moire. |
| . | combining several screens; Elimination of moire |
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| G03F 5/24 | . | durch mehrfache Belichtung, z.B. Kombination von Strich- und Linienraster |
| . | by multiple exposure, e.g. combined processes for line photo and screen |
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| G03F 7/00 | Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür (Fotolackstrukturen für spezielle Herstellungsverfahren siehe die entsprechenden Stellen z.B. B44C , H01L , z.B. H01L 21/00 , H05K) [3, 5] | Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor (using photoresist structures for special production processes, see the relevant places, e.g. B44C, H01L, e.g. H01L 21/00, H05K) [3, 5] |
| G03F 7/004 | | |
| G03F 7/008 | | |
| G03F 7/012 | . . . | Makromolekulare Azide; makromolekulare Zusätze, z.B. Bindemittel [5] |
| . . . | Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders [5] |
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| G03F 7/016 | . . | Diazoniumsalze oder -verbindungen (G03F 7/075 hat Vorrang) [5] |
| . . | Diazonium salts or compounds (G03F 7/075 takes precedence) [5] |
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| G03F 7/021 | . . . | Makromolekulare Diazoniumverbindungen; makromolekulare Zusätze, z.B. Bindemittel [5] |
| . . . | Macromolecular diazonium compounds; Macromolecular additives, e.g. binders [5] |
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| G03F 7/022 | | . . | Quinonediazides (G03F 7/075 takes precedence) [5] |
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| G03F 7/023 | . . . | Makromolekulare Chinondiazide; makromolekulare Zusätze, z.B. Bindemittel [5] |
| . . . | Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders [5] |
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| G03F 7/025 | . . | Nicht-makromolekulare fotopolymerisierbare Verbindungen mit Kohlenstoff- Kohlenstoff-Dreifachbindung, z.B. Acetylenverbindungen (G03F 7/075 hat Vorrang) [5] |
| . . | Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon triple bonds, e.g. acetylenic compounds (G03F 7/075 takes precedence) [5] |
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| G03F 7/027 | . . | Nicht-makromolekulare fotopolymerisierbare Verbindungen mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung, z.B. Ethylenverbindungen (G03F 7/075 hat Vorrang) [5] |
| . . | Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds (G03F 7/075 takes precedence) [5] |
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| G03F 7/028 | . . . | mit Zusätzen zum Erhöhen der Lichtempfindlichkeit, z.B. Fotoinitiatoren [5] |
| . . . | with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators [5] |
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| G03F 7/029 | . . . . | Anorganische Verbindungen; Oniumverbindungen; organische Verbindungen mit anderen Heteroatomen als Sauerstoff, Stickstoff oder Schwefel [5] |
| . . . . | Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur [5] |
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| G03F 7/031 | . . . . | Organische Verbindungen soweit nicht von G03F 7/029 umfasst [5] |
| . . . . | Organic compounds not covered by group G03F 7/029 [5] |
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| G03F 7/032 | . . . | mit Bindemitteln [5] |
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| G03F 7/033 | . . . . | mit Polymeren als Bindemittel, erhalten durch Reaktionen, an denen nur ungesättigte Kohlenstoff-Kohlenstoff-Bindungen beteiligt sind, z.B. Vinylpolymere [5] |
| . . . . | the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers [5] |
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| G03F 7/035 | . . . . | mit Polyurethanen als Bindemittel [5] |
| . . . . | the binders being polyurethanes [5] |
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| G03F 7/037 | . . . . | mit Polyamiden oder Polyimiden als Bindemittel [5] |
| . . . . | the binders being polyamides or polyimides [5] |
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| G03F 7/038 | . . | makromolekulare Verbindungen, die unlöslich oder unterschiedlich benetzbar gemacht werden (G03F 7/075 hat Vorrang; makromolekulare Azide G03F 7/012; makromolekulare Diazoniumverbindungen G03F 7/021) [5] |
| . . | Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable (G03F 7/075 takes precedence; macromolecular azides G03F 7/012; macromolecular diazonium compounds G03F 7/021) [5] |
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| G03F 7/039 | . . | Makromolekulare fotodepolymerisierbare Verbindungen, z.B. positiv arbeitende elektronenempfindliche Fotolacke [Resists] (G03F 7/075 hat Vorrang; makromolekulare Chinondiazide G03F 7/023) [5] |
| . . | Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists (G03F 7/075 takes precedence; macromolecular quinonediazides G03F 7/023) [5] |
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| G03F 7/04 | | |
| G03F 7/06 | | . . | Silver salts (G03F 7/075 takes precedence) [5] |
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| G03F 7/07 | . . . | für Diffusionsübertragung [5] |
| . . . | used for diffusion transfer [5] |
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| G03F 7/075 | . . | Siliciumhaltige Verbindungen [5] |
| . . | Silicon-containing compounds [5] |
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| G03F 7/085 | . . | Lichtempfindliche Zusammensetzungen, gekennzeichnet durch haftungsverbessernde nicht- makromolekulare Zusätze (G03F 7/075 hat Vorrang) [5] |
| . . | Photosensitive compositions characterised by adhesion-promoting non-macromolecular additives (G03F 7/075 takes precedence) [5] |
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| G03F 7/09 | . . | gekennzeichnet durch Einzelheiten des Aufbaus, z.B. Schichtträger, Hilfsschichten (Schichtträger für Druckformen allgemein B41N) [5] |
| . . | characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers (supports for printing plates in general B41N) [5] |
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| G03F 7/095 | . . . | mit mehr als einer lichtempfindlichen Schicht (G03F 7/075 hat Vorrang) [5] |
| . . . | having more than one photosensitive layer (G03F 7/075 takes precedence) [5] |
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| G03F 7/105 | . . . | mit Substanzen, z.B. Indikatoren, zum Sichtbarmachen der Strukturen [5] |
| . . . | having substances, e.g. indicators, for forming visible images [5] |
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| G03F 7/11 | . . . | mit Deck- oder Zwischenschichten, z.B. Trennschichten [5] |
| . . . | having cover layers or intermediate layers, e.g. subbing layers [5] |
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| G03F 7/115 | . . . | mit Schichtträgern oder Schichten zum Erhalt eines Rastereffektes oder zum Verbessern des Kontaktes beim Kontaktkopieren in einem Vakuumrahmen [5] |
| . . . | having supports or layers with means for obtaining a screen effect or for obtaining better contact in vacuum printing [5] |
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| G03F 7/12 | . | Herstellen von Siebdruck- oder ähnlichen Druckformen, z.B. Schablonen |
| . | Production of screen printing forms or similar printing forms, e.g. stencils |
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| G03F 7/14 | . | Herstellen von Lichtdruckformen |
| . | Production of collotype printing forms |
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| G03F 7/16 | . | Beschichtungsverfahren; Vorrichtungen dafür (Aufbringen von Beschichtungen auf Trägermaterialien allgemein B05; Aufbringen lichtempfindlicher Zusammensetzungen auf den Schichtträger für fotografische Zwecke G03C 1/74) |
| . | Coating processes; Apparatus therefor (applying coatings to base materials in general B05; applying photosensitive compositions to the base for photographic purposes G03C 1/74) |
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| G03F 7/18 | . . | Beschichten gekrümmter Oberflächen |
| . . | Coating curved surfaces |
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| G03F 7/20 | . | Belichten; Vorrichtungen dafür (fotografische Kopiergeräte G03B 27/00) [4] |
| . | Exposure; Apparatus therefor (photographic printing apparatus for making copies G03B 27/00) [4] |
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| G03F 7/207 | . . | Vorrichtungen zum Scharfeinstellen, z.B. selbsttätig (Kombinationen von Positionieren und Scharfeinstellen G03F 9/02; Systeme zum automatischen Erzeugen von Scharfeinstellungssignalen allgemein G02B 7/28; Vorrichtungen zum selbsttätigen Scharfeinstellen von Projektions-Kopier- Geräten G03B 27/34) [4] |
| . . | Means for focusing, e.g. automatically (combination of positioning and focusing G03F 9/02; systems for automatic generation of focusing signals in general G02B 7/28; means for automatic focusing of projection printing apparatus G03B 27/34) [4] |
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| G03F 7/213 | . . | gleichzeitiges Belichten von verschiedenen Stellen derselben Oberfläche mit demselben Lichtmuster (G03F 7/207 hat Vorrang) [4] |
| . . | Exposing with the same light pattern different positions of the same surface at the same time (G03F 7/207 takes precedence) [4] |
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| G03F 7/22 | . . | aufeinanderfolgendes Belichten von verschiedenen Stellen derselben Oberfläche mit demselben Lichtmuster (G03F 7/207 hat Vorrang) [4] |
| . . | Exposing sequentially with the same light pattern different positions of the same surface (G03F 7/207 takes precedence) [4] |
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| G03F 7/23 | . . . | selbsttätige Vorrichtungen dafür [4] |
| . . . | Automatic means therefor [4] |
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| G03F 7/24 | . . | Gekrümmte Oberflächen |
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| G03F 7/26 | . | Verarbeitung von lichtempfindlichen Materialien; Vorrichtungen dafür (G03F 7/12-G03F 7/24 haben Vorrang) [3, 5] |
| . | Processing photosensitive materials; Apparatus therefor (G03F 7/12-G03F 7/24 take precedence) [3, 5] |
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| G03F 7/28 | . . | zur Herstellung von Pulverbildern (G03F 3/10 hat Vorrang) [5] |
| . . | for obtaining powder images (G03F 3/10 takes precedence) [5] |
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| G03F 7/30 | . . | Bildmäßiges Entfernen mit Hilfe von Flüssigkeiten [5] |
| . . | Imagewise removal using liquid means [5] |
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| G03F 7/32 | . . . | Flüssigkeitszusammensetzungen dafür, z.B. Entwickler [5] |
| . . . | Liquid compositions therefor, e.g. developers [5] |
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| G03F 7/34 | . . | Bildmäßiges Entfernen durch selektive Übertragung, z.B. Abziehverfahren [5] |
| . . | Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away [5] |
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| G03F 7/36 | . . | Bildmäßiges Entfernen, soweit nicht von den Gruppen G03F 7/30-G03F 7/34 umfasst, z.B. mittels eines Gasstromes, Plasmas [5] |
| . . | Imagewise removal not covered by groups G03F 7/30-G03F 7/34, e.g. using gas streams, using plasma [5] |
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| G03F 7/38 | . . | Vorbehandlung vor dem bildmäßigen Entfernen, z.B. Vorbacken [5] |
| . . | Treatment before imagewise removal, e.g. prebaking [5] |
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| G03F 7/40 | . . | Nachbehandlung nach dem bildmäßigen Entfernen, z.B. Backen [5] |
| . . | Treatment after imagewise removal, e.g. baking [5] |
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| G03F 7/42 | . . | Abziehen oder Agenzien dafür [5] |
| . . | Stripping or agents therefor [5] |
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| G03F 9/00 | Registergerechtes oder sonstiges Positionieren von Kopiervorlagen, Masken, Rastern, fotografischen Folien oder strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. selbsttätig (G03F 7/22 hat Vorrang; Herstellen von Kopiervorlagen G03F 1/00; bei fotografischen Kopiergeräten zur Herstellung von Kopien G03B 27/00) [4] | Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically (G03F 7/22 takes precedence; preparation of photographic masks G03F 1/00; within photographic printing apparatus for making copies G03B 27/00) [4] |
| G03F 9/02 | . | kombiniert mit Mitteln zum automatischen Scharfeinstellen (automatisches Scharfeinstellen allgemein G02B 7/09; Systeme zum automatischen Erzeugen von Scharfeinstellsignalen G02B 7/28) [4] |
| . | combined with means for automatic focusing (automatic focusing in general G02B 7/09; systems for automatic generation of focusing signals G02B 7/28) [4] |
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