G	Sektion G — Physik	SECTION G — PHYSICS
	G03	Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie (Aufzeichnen durch Abtasten und Umwandeln in elektrische Signale H04N) [4]	PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY (reproduction of pictures or patterns by scanning and converting into electrical signals H04N) [4]
	G03F	Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür (Lichtsetzmaschinen B41B; lichtempfindliche Materialien oder fotografische Verfahren G03C; Elektrografie, lichtempfindliche Schichten oder Verfahren dafür G03G)	PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR (phototypographic composing devices B41B; photosensitive materials or processes for photographic purposes G03C; electrography, sensitive layers or processes G03G)
	G03F 1/00	Herstellung von Kopiervorlagen für die fotomechanische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen (fotomechanische Verfahren allgemein G03F 7/00) [3]	Preparation of originals for the photomechanical production of textured or patterned surfaces (photomechanical processes in general G03F 7/00) [3]
	G03F 1/02	.  Herstellung von Kopiervorlagen, die ein Relief simulieren, durch fotografische Verfahren	.  by photographic processes for production of originals simulating relief
	G03F 1/04	.  durch Montageverfahren	.  by montage processes
	G03F 1/06	.  von Druckflächen [5]	.  from printing surfaces [5]
	G03F 1/08	.  Kopiervorlagen mit anorganischen Bildschichten, z.B. Chrommasken (G03F 1/12 hat Vorrang) [5]	.  Originals having inorganic imaging layers, e.g. chrome masks (G03F 1/12 takes precedence) [5]
	G03F 1/10	.  durch Belichten und Auswaschen von pigmentierten oder gefärbten organischen Schichten; durch Färben makromolekularer Muster [5]	.  by exposing and washing out pigmented or coloured organic layers; by colouring macromolecular patterns [5]
	G03F 1/12	.  durch Belichten silberhalogenidhaltiger lichtempfindlicher Materialien oder lichtempfindlicher Materialien des Diazo-Typs [5]	.  by exposing silver-halide-containing photosensitive materials or diazo-type photosensitive materials [5]
	G03F 1/14	.  Originale, gekennzeichnet durch strukturelle Einzelheiten, z.B. Träger, Deckschichten, ringförmige Maskenhalterahmen [5]	.  Originals characterised by structural details, e.g. supports, cover layers, pellicle rings [5]
	G03F 1/16	.  Originale mit freien Öffnungen, z.B. für Korpuskularstrahlenlithografie [5]	.  Originals having apertures, e.g. for corpuscular lithography [5]
	G03F 3/00	Farbtrennung; Berichtigung des Farbwertes (fotografische Kopierapparate allgemein G03B)	Colour separation; Correction of tonal value (photographic copying apparatus in general G03B)
	G03F 3/02	.  durch Retuschieren	.  by retouching
	G03F 3/04	.  durch fotografische Verfahren	.  by photographic means
	G03F 3/06	. .  durch Maskieren	. .  by masking
	G03F 3/08	.  durch fotoelektrische Mittel	.  by photoelectric means
	G03F 3/10	.  Prüfen des Farb- oder Tonwertes der Auszugsnegative oder -positive	.  Checking the colour or tonal value of separation negatives or positives
	G03F 5/00	Rasterverfahren; Raster dafür	Screening processes; Screens therefor
	G03F 5/02	.  durch Projektion (Kameras G03B)	.  by projecting methods (cameras G03B)
	G03F 5/04	. .  durch Wechsel der Rasterwirkung	. .  changing the screen effect
	G03F 5/06	. .  durch Wechsel der Blendenwirkung	. .  changing the diaphragm effect
	G03F 5/08	. .  durch Linienraster	. .  using line screens
	G03F 5/10	. .  durch Kreuzlinienraster	. .  using cross-line screens
	G03F 5/12	. .  durch andere, z.B. Kornraster	. .  using other screens, e.g. granulated screen
	G03F 5/14	.  durch Kontaktverfahren	.  by contact methods
	G03F 5/16	. .  durch graue Halbtonraster	. .  using grey half-tone screens
	G03F 5/18	. .  durch Farb-Halbtonraster	. .  using colour half-tone screens
	G03F 5/20	.  durch Raster für Tiefdruck	.  using screens for gravure printing
	G03F 5/22	.  durch Kombination verschiedener Raster; Beseitigung von Moire.	.  combining several screens; Elimination of moire
	G03F 5/24	.  durch mehrfache Belichtung, z.B. Kombination von Strich- und Linienraster	.  by multiple exposure, e.g. combined processes for line photo and screen
	G03F 7/00	Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür (Fotolackstrukturen für spezielle Herstellungsverfahren siehe die entsprechenden Stellen z.B. B44C , H01L , z.B. H01L 21/00 , H05K) [3, 5]	Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor (using photoresist structures for special production processes, see the relevant places, e.g. B44C, H01L, e.g. H01L 21/00, H05K) [3, 5]
	G03F 7/004	.  Lichtempfindliche Materialien (G03F 7/12 , G03F 7/14 haben Vorrang) [5]	.  Photosensitive materials (G03F 7/12, G03F 7/14 take precedence) [5]
	G03F 7/008	. .  Azide (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. .  Azides (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/012	. . .  Makromolekulare Azide; makromolekulare Zusätze, z.B. Bindemittel [5]	. . .  Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders [5]
	G03F 7/016	. .  Diazoniumsalze oder -verbindungen (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. .  Diazonium salts or compounds (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/021	. . .  Makromolekulare Diazoniumverbindungen; makromolekulare Zusätze, z.B. Bindemittel [5]	. . .  Macromolecular diazonium compounds; Macromolecular additives, e.g. binders [5]
	G03F 7/022	. .  Chinondiazide (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. .  Quinonediazides (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/023	. . .  Makromolekulare Chinondiazide; makromolekulare Zusätze, z.B. Bindemittel [5]	. . .  Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders [5]
	G03F 7/025	. .  Nicht-makromolekulare fotopolymerisierbare Verbindungen mit Kohlenstoff- Kohlenstoff-Dreifachbindung, z.B. Acetylenverbindungen (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. .  Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon triple bonds, e.g. acetylenic compounds (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/027	. .  Nicht-makromolekulare fotopolymerisierbare Verbindungen mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung, z.B. Ethylenverbindungen (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. .  Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/028	. . .  mit Zusätzen zum Erhöhen der Lichtempfindlichkeit, z.B. Fotoinitiatoren [5]	. . .  with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators [5]
	G03F 7/029	. . . .  Anorganische Verbindungen; Oniumverbindungen; organische Verbindungen mit anderen Heteroatomen als Sauerstoff, Stickstoff oder Schwefel [5]	. . . .  Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur [5]
	G03F 7/031	. . . .  Organische Verbindungen soweit nicht von G03F 7/029 umfasst [5]	. . . .  Organic compounds not covered by group G03F 7/029 [5]
	G03F 7/032	. . .  mit Bindemitteln [5]	. . .  with binders [5]
	G03F 7/033	. . . .  mit Polymeren als Bindemittel, erhalten durch Reaktionen, an denen nur ungesättigte Kohlenstoff-Kohlenstoff-Bindungen beteiligt sind, z.B. Vinylpolymere [5]	. . . .  the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers [5]
	G03F 7/035	. . . .  mit Polyurethanen als Bindemittel [5]	. . . .  the binders being polyurethanes [5]
	G03F 7/037	. . . .  mit Polyamiden oder Polyimiden als Bindemittel [5]	. . . .  the binders being polyamides or polyimides [5]
	G03F 7/038	. .  makromolekulare Verbindungen, die unlöslich oder unterschiedlich benetzbar gemacht werden (G03F 7/075 hat Vorrang; makromolekulare Azide G03F 7/012; makromolekulare Diazoniumverbindungen G03F 7/021) [5]	. .  Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable (G03F 7/075 takes precedence; macromolecular azides G03F 7/012; macromolecular diazonium compounds G03F 7/021) [5]
	G03F 7/039	. .  Makromolekulare fotodepolymerisierbare Verbindungen, z.B. positiv arbeitende elektronenempfindliche Fotolacke [Resists] (G03F 7/075 hat Vorrang; makromolekulare Chinondiazide G03F 7/023) [5]	. .  Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists (G03F 7/075 takes precedence; macromolecular quinonediazides G03F 7/023) [5]
	G03F 7/04	. .  Chromate (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. .  Chromates (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/06	. .  Silbersalze (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. .  Silver salts (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/07	. . .  für Diffusionsübertragung [5]	. . .  used for diffusion transfer [5]
	G03F 7/075	. .  Siliciumhaltige Verbindungen [5]	. .  Silicon-containing compounds [5]
	G03F 7/085	. .  Lichtempfindliche Zusammensetzungen, gekennzeichnet durch haftungsverbessernde nicht- makromolekulare Zusätze (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. .  Photosensitive compositions characterised by adhesion-promoting non-macromolecular additives (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/09	. .  gekennzeichnet durch Einzelheiten des Aufbaus, z.B. Schichtträger, Hilfsschichten (Schichtträger für Druckformen allgemein B41N) [5]	. .  characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers (supports for printing plates in general B41N) [5]
	G03F 7/095	. . .  mit mehr als einer lichtempfindlichen Schicht (G03F 7/075 hat Vorrang) [5]	. . .  having more than one photosensitive layer (G03F 7/075 takes precedence) [5]
	G03F 7/105	. . .  mit Substanzen, z.B. Indikatoren, zum Sichtbarmachen der Strukturen [5]	. . .  having substances, e.g. indicators, for forming visible images [5]
	G03F 7/11	. . .  mit Deck- oder Zwischenschichten, z.B. Trennschichten [5]	. . .  having cover layers or intermediate layers, e.g. subbing layers [5]
	G03F 7/115	. . .  mit Schichtträgern oder Schichten zum Erhalt eines Rastereffektes oder zum Verbessern des Kontaktes beim Kontaktkopieren in einem Vakuumrahmen [5]	. . .  having supports or layers with means for obtaining a screen effect or for obtaining better contact in vacuum printing [5]
	G03F 7/12	.  Herstellen von Siebdruck- oder ähnlichen Druckformen, z.B. Schablonen	.  Production of screen printing forms or similar printing forms, e.g. stencils
	G03F 7/14	.  Herstellen von Lichtdruckformen	.  Production of collotype printing forms
	G03F 7/16	.  Beschichtungsverfahren; Vorrichtungen dafür (Aufbringen von Beschichtungen auf Trägermaterialien allgemein B05; Aufbringen lichtempfindlicher Zusammensetzungen auf den Schichtträger für fotografische Zwecke G03C 1/74)	.  Coating processes; Apparatus therefor (applying coatings to base materials in general B05; applying photosensitive compositions to the base for photographic purposes G03C 1/74)
	G03F 7/18	. .  Beschichten gekrümmter Oberflächen	. .  Coating curved surfaces
	G03F 7/20	.  Belichten; Vorrichtungen dafür (fotografische Kopiergeräte G03B 27/00) [4]	.  Exposure; Apparatus therefor (photographic printing apparatus for making copies G03B 27/00) [4]
	G03F 7/207	. .  Vorrichtungen zum Scharfeinstellen, z.B. selbsttätig (Kombinationen von Positionieren und Scharfeinstellen G03F 9/02; Systeme zum automatischen Erzeugen von Scharfeinstellungssignalen allgemein G02B 7/28; Vorrichtungen zum selbsttätigen Scharfeinstellen von Projektions-Kopier- Geräten G03B 27/34) [4]	. .  Means for focusing, e.g. automatically (combination of positioning and focusing G03F 9/02; systems for automatic generation of focusing signals in general G02B 7/28; means for automatic focusing of projection printing apparatus G03B 27/34) [4]
	G03F 7/213	. .  gleichzeitiges Belichten von verschiedenen Stellen derselben Oberfläche mit demselben Lichtmuster (G03F 7/207 hat Vorrang) [4]	. .  Exposing with the same light pattern different positions of the same surface at the same time (G03F 7/207 takes precedence) [4]
	G03F 7/22	. .  aufeinanderfolgendes Belichten von verschiedenen Stellen derselben Oberfläche mit demselben Lichtmuster (G03F 7/207 hat Vorrang) [4]	. .  Exposing sequentially with the same light pattern different positions of the same surface (G03F 7/207 takes precedence) [4]
	G03F 7/23	. . .  selbsttätige Vorrichtungen dafür [4]	. . .  Automatic means therefor [4]
	G03F 7/24	. .  Gekrümmte Oberflächen	. .  Curved surfaces
	G03F 7/26	.  Verarbeitung von lichtempfindlichen Materialien; Vorrichtungen dafür (G03F 7/12-G03F 7/24 haben Vorrang) [3, 5]	.  Processing photosensitive materials; Apparatus therefor (G03F 7/12-G03F 7/24 take precedence) [3, 5]
	G03F 7/28	. .  zur Herstellung von Pulverbildern (G03F 3/10 hat Vorrang) [5]	. .  for obtaining powder images (G03F 3/10 takes precedence) [5]
	G03F 7/30	. .  Bildmäßiges Entfernen mit Hilfe von Flüssigkeiten [5]	. .  Imagewise removal using liquid means [5]
	G03F 7/32	. . .  Flüssigkeitszusammensetzungen dafür, z.B. Entwickler [5]	. . .  Liquid compositions therefor, e.g. developers [5]
	G03F 7/34	. .  Bildmäßiges Entfernen durch selektive Übertragung, z.B. Abziehverfahren [5]	. .  Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away [5]
	G03F 7/36	. .  Bildmäßiges Entfernen, soweit nicht von den Gruppen G03F 7/30-G03F 7/34 umfasst, z.B. mittels eines Gasstromes, Plasmas [5]	. .  Imagewise removal not covered by groups G03F 7/30-G03F 7/34, e.g. using gas streams, using plasma [5]
	G03F 7/38	. .  Vorbehandlung vor dem bildmäßigen Entfernen, z.B. Vorbacken [5]	. .  Treatment before imagewise removal, e.g. prebaking [5]
	G03F 7/40	. .  Nachbehandlung nach dem bildmäßigen Entfernen, z.B. Backen [5]	. .  Treatment after imagewise removal, e.g. baking [5]
	G03F 7/42	. .  Abziehen oder Agenzien dafür [5]	. .  Stripping or agents therefor [5]
	G03F 9/00	Registergerechtes oder sonstiges Positionieren von Kopiervorlagen, Masken, Rastern, fotografischen Folien oder strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. selbsttätig (G03F 7/22 hat Vorrang; Herstellen von Kopiervorlagen G03F 1/00; bei fotografischen Kopiergeräten zur Herstellung von Kopien G03B 27/00) [4]	Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically (G03F 7/22 takes precedence; preparation of photographic masks G03F 1/00; within photographic printing apparatus for making copies G03B 27/00) [4]
	G03F 9/02	.  kombiniert mit Mitteln zum automatischen Scharfeinstellen (automatisches Scharfeinstellen allgemein G02B 7/09; Systeme zum automatischen Erzeugen von Scharfeinstellsignalen G02B 7/28) [4]	.  combined with means for automatic focusing (automatic focusing in general G02B 7/09; systems for automatic generation of focusing signals G02B 7/28) [4]