| G01Q 30/00 | Hilfsmittel zur Unterstützung oder Verbesserung von Rastersondentechniken oder -vorrichtungen, z.B. Anzeige- oder Datenverarbeitungseinrichtungen [2010.01] | Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices [2010.01] |
| G01Q 30/02 | . | Nicht-SPM Analyseeinrichtungen, z.B. Rasterelektronenmikroskope [Scanning Electron Microscope = SEM], Spektrometer oder optische Mikroskope [2010.01] |
| . | Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope [2010.01] |
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