  | B81C | Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen (Herstellung von Mikrokapseln und Mikrohohlkugeln B01J 13/02; Verfahren oder Geräte für die Herstellung oder Behandlung von piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Bauelementen an sich H01L 41/22) [7] | PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS (making microcapsules or microballoons B01J 13/02; processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of piezo-electric, electrostrictive or magnetostrictive elements per seH01L 41/22) [7] |
 | B81C 99/00 | Sachverhalte, soweit nicht in anderen Gruppen dieser Unterklasse vorgesehen [2010.01] | Subject matter not provided for in other groups of this subclass [2010.01] |