B	Sektion B — Arbeitsverfahren; Transportieren	SECTION B — PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
		Mikrostrukturtechnik; Nanotechnik [7]	MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY; NANO-TECHNOLOGY
	B81	Mikrostrukturtechnik [7]	MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY [7]
	B81B	Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente (piezoelektrische, elektrostriktive oder magnetostriktive Bauelemente an sich H01L 41/00) [7]	MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES (piezo-electric, electrostrictive or magnetostrictive elements per seH01L 41/00) [7]
	B81C	Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen (Herstellung von Mikrokapseln und Mikrohohlkugeln B01J 13/02; Verfahren oder Geräte für die Herstellung oder Behandlung von piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Bauelementen an sich H01L 41/22) [7]	PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS (making microcapsules or microballoons B01J 13/02; processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of piezo-electric, electrostrictive or magnetostrictive elements per seH01L 41/22) [7]