   | G01R 31/00 | Anordnungen zum Prüfen auf elektrische Eigenschaften; Anordnungen zur Bestimmung des Ortes elektrischer Fehler; Anordnungen zum elektrischen Prüfen, gekennzeichnet durch den zu prüfenden Gegenstand, soweit nicht anderweitig vorgesehen (Prüfen oder Messen von Halbleitern oder Festkörperbauelementen während der Herstellung H01L 21/66; Prüfen von Leitungs-Übertragungssystemen H04B 3/46) [1, 2006.01] | Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere (testing or measuring semiconductors or solid state devices during manufacture H01L 21/66; testing line transmission systems H04B 3/46) [1, 2006.01] |