Verfahren oder Vorrichtungen zur Herstellung von einzelnen Schichtelektroden mit mehrschichtigen piezoelektrischen oder elektrostriktiven [PE] Teilen vom dargestellten Typ.
Bildlegende
Die integrale Anordnung von einzelnen Schichtelektroden und Verbindungselektroden wird in beiden Gruppen H01L 41/293 und H01L 41/297 klassifiziert.