Verfahren oder Vorrichtungen zur Herstellung von Verbindungselektroden mit mehrschichtigen piezoelektrischen oder elektrostriktiven [PE] Teilen, einschließlich Durchführungs- und Anschlussanordnungen vom dargestellten Typ.
Bildlegende
Die integrale Anordnung von einzelnen Schichtelektroden und Verbindungselektroden wird in beiden Gruppen H01L 41/293 und H01L 41/297 klassifiziert.