Verfahren oder Vorrichtungen für die Fertigung eines Materials oder Bauelements, das elektrostatische Polarisierung aufweist oder verändert, wenn es mechanischer Beanspruchung ausgesetzt wird oder das mechanische Verformungen, z.B. Verbiegung, aufweist, wenn es elektrischer Beanspruchung ausgesetzt ist.
Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon im Allgemeinen | H01L 21/00 |