H01L 41/22

Definition

Diese Klassifikationsstelle umfasst:

Verfahren oder Vorrichtungen für die Fertigung eines Materials oder Bauelements, das elektrostatische Polarisierung aufweist oder verändert, wenn es mechanischer Beanspruchung ausgesetzt wird oder das mechanische Verformungen, z.B. Verbiegung, aufweist, wenn es elektrischer Beanspruchung ausgesetzt ist.

Querverweise

Informative Querverweise

Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon im Allgemeinen
H01L 21/00