Bestimmte Strukturierungsverfahren (wie Laserbearbeitung, chemisches Ätzen), die darauf abzielen, ein Modul aus einer Vielzahl (verbundener) benachbarter Dünnschicht-Solarzellen aus ursprünglich ununterbrochenen Dünnschichten zu bilden.
| Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von PV-Zellen | H01L 31/18 |
| Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von PV-Zellen, die amorphes Halbleitermaterial enthalten | H01L 31/20 |