Verfahren und Vorrichtungen, besonders angepasst für die Herstellung oder Behandlung solcher Bauelemente oder Teilen davon | H01L 21/70, H01L 31/00-H01L 51/00 |
Einzelheiten von Baugruppen aus elektrischen Schaltungselementen allgemein | H05K |
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof | H01L 21/70 , H01L 31/00-H01L 51/00 |
Assemblies of electrical components in general | H05K |