H01L 21/425
Informative Querverweise
Folgende Stellen, die für eine Recherche interessant sein könnten, sollten beachtet werden:
Ionenstrahlröhren für örtliche Behandlung
H01J 37/30
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Informative references
Attention is drawn to the following places, which may be of interest for search:
Ion-beam tubes for localised
treatment
H01J 37/30