| Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Bauelementen, die in den Gruppen H01L 31/00-H01L 51/00 vorgesehen sind oder von deren Teilen, siehe diese Gruppen | H01L 31/00-H01L 51/00 |
| Einstufige Verfahren, die von anderen Unterklassen umfasst werden, siehe die entsprechenden Unterklassen, z.B. | C23C, C30B |
| Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, Materialien oder Kopiervorlagen dafür, Vorrichtungen besonders dafür ausgebildet, allgemein | G03F |