H01L 21/00

Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon

Wichtige Querverweise für die Klassifizierung in dieser Gruppe

Beispiele von Klassifikationsstellen, die den technischen Sachverhalt dieser Unterklasse umfassen, sofern dieser besonders ausgebildet, für einen besonderen Zweck eingesetzt oder in ein größeres System eingebunden ist:

Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Bauelementen, die in den Gruppen H01L 31/00-H01L 51/00 vorgesehen sind oder von deren Teilen, siehe diese Gruppen

H01L 31/00-H01L 51/00

Informative Querverweise

Folgende Stellen, die für eine Recherche interessant sein könnten, sollten beachtet werden:

Einstufige Verfahren, die von anderen Unterklassen umfasst werden, siehe die entsprechenden Unterklassen, z.B.	C23C, C30B
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, Materialien oder Kopiervorlagen dafür, Vorrichtungen speziell dafür ausgebildet, allgemein	G03F

H01L 21/00

Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof

References relevant to classification in this group

Examples of places where the subject matter of this class is covered when specially adapted, used for a particular purpose, or incorporated in a larger system:

Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of devices provided for in groups H01L 31/00-H01L 51/00 or of parts thereof, see these groups

H01L 31/00-H01L 51/00

Informative references

Attention is drawn to the following places, which may be of interest for search:

Single-step processes covered by other subclasses, see the relevant subclasses, e.g.	C23C , C30B
Photomechanical production of textured or patterned surfaces, materials or originals therefor, apparatus specially adapted therefor, in general	G03F