| Prüfen oder Messen während der Herstellung oder Behandlung | H01L 21/66 |
| Prüfen von Photovoltaikbauelementen | H02S 50/10 |
| Messung des Verunreinigungsgehaltes von Materialien | G01N |
| Prüfen von integrierten Schaltungen | G01R 31/28 |
| Einzelnes Halbleiterbauelement | Grundlegende Halbleiterkomponente oder grundlegender Halbleiterbaustein wie eine Diode oder ein Transistor. |