Allgemeine SPM-Sondenhalterungen mit eingebauten Mitteln zum Anpassen der Sonde für die Korrektur der durch Temperaturunterschiede oder Vibrationen verursachten Fehler.
| Fehlerkompensation allgemein | G01Q 30/06 |
| Schutz des Rastersondenmikroskops allgemein | G01Q 30/18 |