Mittel zur Vermeidung einer Störung der Rastersondenmikroskopie (SPM) durch eine Bedingung außerhalb des Rastersondenmikroskops, z. B. Vibration, Temperatur oder Druck.
Das Rastersondenmikroskop ist als Ganzes gegen widrige Bedingungen geschützt; beispielsweise mit einem speziellen Gehäuse oder Vorrichtung für das Unterdrücken externer Vibrationen, um die Stabilität des Mikroskops zu gewährleisten, oder einer Abschirmung zum Schutz gegen elektromagnetische Felder.
Mittel zum Einstellen der Umgebungsbedingung für die Probenkammer | G01Q 30/08 |
Innerhalb der Sonde eingebaute Mittel zum Einstellen/Fehlerkompensation | G01Q 70/04 |