Verfahren mit einem oder mehreren Schritten oder Geräte, die mindestens einen Schritt in solchen Verfahren ausführen können, welche wesentliche Merkmale aufweisen, die direkt mit der
Herstellung
oder der Behandlung von Erzeugnissen mit
sehr kleinen Abmessungen
(typisch im Bereich von 10
-4
bis 10
-7
Metern) in Beziehung stehen.
Die
Herstellung
oder Behandlung dieser Erzeugnisse mit
sehr kleinen Abmessungen
muss ein strukturelles Merkmal schaffen, das im Gegensatz zu einem rein chemischen oder elektronischen Merkmal wesentlich für den Einsatz des Erzeugnisses ist.
Die verschiedenartigen Erzeugnisse mit
sehr kleinen Abmessungen
, deren
Herstellung
oder Behandlung diese Unterklasse umfasst, gliedern sich wie folgt:
Mechanische Bauelemente (d.h. mikromechanische Bauelemente), die mindestens einen bestimmenden Bestandteil umfassen, welcher alle folgenden Eigenschaften aufweist:
Dreidimensionale Strukturverbände (d.h. Mikrostrukturen), die alle folgenden Eigenschaften aufweisen:
Systeme die ein eigenständiges mikromechanisches Bauteil oder eine Mikrostruktur und mindestens ein anderes mikromechanisches,
mikroelektronisches
oder
mikrooptisches Bauteil
aufweisen (z.B. mikromechanische Systeme, mikroelektro-mechanische Systeme/MEMS, Mikrooptisch-mechanische Systeme), die alle folgenden Eigenschaften aufweisen:
Teile mikromechanischer Bauteile oder Mikrostrukturen, die besondere strukturelle Merkmale aufweisen, die sie auf die Verwendung mit ihrem Bauteil oder mit ihrer Struktur beschränken.
Diese Klasse umfasst Verfahren und Geräte für die
Herstellung
oder Behandlung von Mikrostrukturen, die dann eine derart geschaffene
strukturelle Funktion
ausüben, wenn sie mit ihrer lokalen Umgebung wechselwirken. Die Klassifizierung der
Herstellung
oder Behandlung von Strukturen mit
sehr kleinen Abmessungen
ist in dieser Unterklasse unzulässig, wenn die Strukturen
Verfahren und Geräte zur chemischen oder biologischen Formgebung von Mikrostrukturen werden in
B81C
klassifiziert, wenn diese Mikrostrukturen das Hauptziel ihres Bildungsprozesses sind und sie bei der Wechselwirkung mit ihrer lokalen Umgebung eine zugehörige
strukturelle Funktion
ausüben.
Verfahren oder Geräte zur
Herstellung
oder Behandlung von chemisch oder biologisch gebildeten Strukturen mit
sehr kleinen Abmessungen
, werden in die Unterklassen der Sektion C, Chemie, Hüttenwesen, klassifiziert.
Verfahren oder Geräte zur
Herstellung
oder Behandlung von
mikroelektronischen Bauteilen
und
mikrooptischen Bauteilen
werden in die Unterklassen der Sektion H, Elektrotechnik klassifiziert; dies auch, wenn sie bereits an sich (z.B. ein Draht mit
sehr kleinen Abmessungen
zwischen zwei Substraten, der das obere Substrat unterstützt) oder absichtlich (z.B. ein aerodynamisch geformter Mikroprozessor für Tragflächen) eine zweite
strukturelle Funktion
ausüben. Die
Herstellung
oder Behandlung von
mikroelektronischen Bauteilen
und
mikrooptischen Bauteilen
findet sich in
H01L
(z.B.
H01L 21/00
) und
H01P
(z.B.
H01P 11/00
).
Chemische oder physikalische Verfahren oder Geräte zur
Herstellung
von Mikrokapseln oder Mikroballons
| B01J 13/02 |
Verfahren oder Geräte, zur
Herstellung
oder Behandlung von im wesentlichen zweidimensionalen Strukturen, z.B. Schichtkörpern
| B32B |
Verfahren oder Geräte zur
Herstellung
von Strukturen im atomaren Maßstab, die durch die Manipulation von Atomen und Molekülen erzeugt werden
| B82B |
Verfahren und Geräte zur
Herstellung
oder Behandlung von piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Elementen
| H01L 41/22 |
Verfahren und Geräte zur
Herstellung
oder Behandlung von Mikrostreifenleitern
| H01P 3/08 |
Verfahren und Geräte zur
Herstellung
oder Behandlung von Drucksensoren
| G01L 9/00 |
Verfahren und Geräte zur
Herstellung
oder Behandlung von Beschleunigungsmessern
| G01P 15/00 |
Verfahren und Geräte zur
Herstellung
oder Behandlung von Mikromanipulatoren, die als Zusatzgerät mit dem Mikroskop vereinigt sind
| G02B 21/32 |
Photomechanische
Herstellung
von Halbleiterbauelementen
| G03F |
Verfahren und Geräte zur
Herstellung
oder Behandlung von Magnetköpfen
| G11B 5/127 |