| Verfahren und Vorrichtungen, besonders angepasst für die Herstellung oder Behandlung solcher Bauelemente oder Teilen davon | H01L 21/70, H01L 31/00, H01L 33/00, H10K, H10N |
| Einzelheiten von Baugruppen aus elektrischen Schaltungselementen allgemein | H05K |