| Verfahren oder Vorrichtungen besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Teilen davon | H01L 31/00, H01L 33/00, H10K, H10N |
| Einstufige Verfahren, die von anderen Unterklassen umfasst werden, siehe die entsprechenden Unterklassen, z.B. | C23C, C30B |
| Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, Materialien oder Kopiervorlagen dafür, Vorrichtungen besonders dafür ausgebildet, allgemein | G03F |