| Mikrostrukturbauelemente oder -systeme | B81B |
| Manipulatoren, z.B. Mikromanipulatoren | B25J, B25J 7/00 |
| Druckmittelbetriebene Vorrichtungen zum Verstellen eines Gliedes aus einer Lage in eine andere; damit vereinigte Getriebe | F15B 15/00 |
| Vorrichtungen zum Bewegen von Verschlussteilen in anderer Weise als zum Öffnen oder Schließen des Ventils, z.B. zum Einschleifen, zum Verhindern des Steckenbleibens; Betätigungsvorrichtungen; Auslösevorrichtungen | F16K 29/00, F16K 31/00 |