Gegenstand der Untergruppe
G03F 1/68,
wobei die Verfahren zur Herstellung von gemusterten und Strahlung modifizierenden Produkten einen Ätzschritt umfassen zum selektiven Entfernen von Material von einer Maske oder einem Maskenrohling.
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Ätzen metallischer Werkstoffe mit chemischen Mitteln
| C23F 1/00 |