Gegenstand der Untergruppe
G03F 1/68,
wobei die Herstellungsverfahren zur Herstellung von gemusterten und Strahlung modifizierenden Produkten Methoden zur Reparatur oder zur Korrektur von Maskendefekten umfassen, z.B. durch Entfernen von überschüssigen Teilen oder Auffüllen von fehlenden Teilen.