Gegenstand der Hauptgruppe
G03F 1/00,
wobei die Herstellungsverfahren zur Herstellung der Strahlung modifizierenden Produkte und ähnlicher oder gleicher Produkte einen besonderen Vorbereitungsschritt, spezifische Herstellungsmethoden oder vorgegebene Entwurfsschritte zur Herstellung dieser Produkte umfassen, aber die Herstellungsverfahren nicht speziell von den vorherigen Untergruppen umfasst sind.