Gegenstand der Untergruppe
G03F 1/62,
wobei die Pellikel spezielle Rahmen (z.B. Struktur oder Material) besitzen, umfassend Klebemittel für den Pellikelrahmen, welche eine Verbindung zwischen dem Rahmen und der Pellikelmembran oder zwischen einem Rahmen und einem Substrat des Strahlung modifizierenden Produktes schaffen.
Anmerkung: In dieser Untergruppe umfassen die Klebemittel oft eine adhäsive Schicht. Alternativ können die Klebemittel eine Struktur umfassen, die ein physikalisches Anhaften bewirkt.