Gegenstand der Hauptgruppe
G03F 1/00,
wobei die Strahlung modifizierenden Produkte oder ähnliche Produkte ein Substrat haben, das durch ein besonderes Material, eine vorgegebene Struktur oder eine angegebene Eigenschaft definiert ist, die das Substrat besonders geeignet für den Gebrauch in der Bildgebung macht (z.B. in einer gemusterten Maske, in einem Maskenrohling dafür).
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Schichtkörper, gekennzeichnet durch die Inhomogenität oder den physikalischen Aufbau einer Schicht
| B32B 5/00 |