Gegenstand der Hauptgruppe
G03F 1/00,
wobei die Strahlen modifizierenden Produkte einen Absorber (z.B. von lichtundurchlässigem Material) haben, der zum Absorbieren von einfallender Strahlung dient.
(1) Anmerkung: Der Absorber kann ein besonderes lichtundurchlässiges Material sein, das chemisch definiert ist (z.B. Tantal (Ta), Gold (Au), Chrom (Cr), Kohlenstoff (C), Molybdänsilizid (MoSi)). Alternativ kann der Absorber ein spezifisches Muster haben (z.B. ein eine Grautonmaske bewirkendes, nicht auflösbares Gittermuster, eine Gradientenmaske), eine besondere Dicke (z.B. durch semi-transparente Gestaltung der Absorberregion, um einen Durchlässigkeitsgrad von nur 20% für die eingehende Strahlung bei der Zielwellenlänge für die Bildgebung bereit zu stellen) oder eine vorgegebene interne Struktur (z.B. Mehrschichtabsorber, eine durch Ionenimplantation gewonnene lichtundurchlässige Schicht zur Änderung der optischen Eigenschaften zur Absorption von mehr eingehender Strahlung).
(2) Anmerkung: Ausgenommen von dieser Untergruppe sind abschwächende Phasenverschiebungsmasken (PSM), welche phasenverschiebende Regionen besitzen, die durch ausreichende Dickenreduktion eines normalerweise lichtundurchlässigen Absorberschichtmaterials erzeugt werden, wie eine dünne Schicht von Chrom (Cr), oft "leaky chrome" genannt.