Gegenstand der Hauptgruppe
G03F 1/00,
wobei die Strahlen modifizierenden Produkte einen Reflektor haben, der als Spiegel zur Ablenkung der einfallenden Strahlung dient.
Anmerkung: Der Reflektor kann aus einem besonderen Material sein, das chemisch definiert ist. Alternativ kann der spezifizierte Reflektor eine spezifische Form haben, eine besondere Dicke oder eine vorgegebene interne Mikrostruktur (wie ein Reflektor, der einer besonderen Hitzebehandlung ausgesetzt war, um interne Spannungen abzubauen).