Gegenstand der Hauptgruppe
G03F 1/00,
wobei die gemusterten und Strahlung modifizierenden Produkte Masken mit Hilfsstrukturen ausgebildet sind, wobei die Maske eine Struktur zusätzlich zu der zur Bildgebung benutzten besitzt, und diese Struktur für ergänzende Zwecke verwendet wird, und wobei die Herstellungsverfahren auf die Herstellung von solchen Masken mit Hilfsstrukturen gerichtet sind.
Anmerkung: Ergänzende Zwecke können beispielsweise zur Ausrichtung der Maske in einem Belichtungsgerät sein, zum Testen der Maske, zum Schützen der Maske oder zum Verbessern des erhaltenen Maskenbildes.