Gegenstand der Untergruppe
G03F 1/26,
wobei die Phasenverschiebungsmaske (PSM) drei oder mehr unterschiedliche transmissive oder reflektive Teilbereiche auf ihr hat, die drei oder mehr unterschiedliche Phasen der austretenden Strahlung bereitstellen (z.B. Tri-Tone PSM für 0°, 90° und 180° Phasen), und wobei das Herstellungsverfahren auf die Herstellung solcher gemusterten Phasenverschiebungsmasken (PSM) gerichtet ist.