G03F 1/20

Definition

Diese Klassifikationsstelle umfasst:

Gegenstand der Hauptgruppe G03F 1/00, wobei die Strahlung modifizierenden Produkte entweder gemusterte Masken für die Bildgebung mit geladenen Teilchenstrahlen (z.B. Elektronenstrahlen), Maskenrohlinge dafür oder spezialisierte Substrate zur Herstellung solcher gemusterten Masken sind; sowie Herstellungsverfahren zur Herstellung solcher gemusterten Masken für die Bildgebung mit geladenen Teilchenstrahlen, Herstellung von Maskenrohlingen dafür, oder Herstellung spezialisierter Substrate dafür.