| Nicht-makromolekulare fotopolymerisierbare Verbindungen mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung mit Zusätzen zum Erhöhen der Lichtempfindlichkeit für die fotomechanische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen | G03F 7/028 |
| Lichtempfindliche makromolekulare Verbindungen, die unlöslich oder unterschiedlich benetzbar gemacht werden, anwendbar zur fotomechanischen Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen | G03F 7/038 |