B65G 49/07

Querverweise

Nichteinschränkende Querverweise in anwendungsorientierte Klassifikationsstellen

Besonders ausgebildet zum Transportieren oder Fördern von Halbleiterscheiben während der Herstellung oder Behandlung von Halbleitern oder elektrischen Festkörperbauelementen oder deren Einzelheiten
H01L 21/677