| Werkstückauflagen, z.B. einstellbare Lünetten für Schleifmaschinen oder -einrichtungen | B24B 41/06 |
| Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen hiervon, unter Verwendung besonders ausgebildeter Trägersysteme | H01L 21/673 |