| Einzweckmaschinen oder Einrichtungen zum Schleifen von anorganischen Werkstoffen, z.B. Stein, Keramik, Porzellan | B24B 7/22 |
| Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die mechanische Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Teilen davon, zur Änderung der physikalischen Oberflächenbeschaffenheit oder zur Änderung der Form, z.B. Schleifen oder Polieren | H01L 21/304 |