H10N 52/01

Querverweise

Informative Querverweise

Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Festkörperbauelementen oder von Teilen davon allgemein
H01L 21/00

H10N 52/01

References

Informative references

Processes or apparatus specifically adapted for manufacture or treatment of semiconductor or solid-state devices or of parts thereof in general
H01L 21/00