H05K 3/16
Querverweise
Informative Querverweise
Überziehen von Materialien durch Kathodenzerstäubung
C23C 14/34
Entladungsvorrichtungen dafür
H01J 37/34
H05K 3/16
References
Informative references
Covering materials by cathodic sputtering
C23C 14/34
Discharge devices therefor
H01J 37/34