H01L 21/00

Querverweise

Nichteinschränkende Querverweise in anwendungsorientierte Klassifikationsstellen

Verfahren oder Vorrichtungen besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Teilen davon

H01L 31/00, H01L 33/00, H10K, H10N

Informative Querverweise

Einstufige Verfahren, die von anderen Unterklassen umfasst werden, siehe die entsprechenden Unterklassen, z.B.	C23C, C30B
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, Materialien oder Kopiervorlagen dafür, Vorrichtungen besonders dafür ausgebildet, allgemein	G03F

H01L 21/00

References

Application-oriented references

Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of devices, or parts thereof

H01L 31/00, H01L 33/00, H10K, H10N

Informative references

Single-step processes covered by other subclasses, see the relevant subclasses, e.g.	C23C, C30B
Photomechanical production of textured or patterned surfaces, materials or originals therefor, apparatus specially adapted therefor, in general	G03F