Gegenstand der Untergruppe
G03F 1/68,
wobei die Verfahren zur Herstellung von gemusterten und Strahlung modifizierenden Produkten einen Ätzschritt umfassen zum selektiven Entfernen von Material von einer Maske oder einem Maskenrohling.
|
Ätzen metallischer Werkstoffe mit chemischen Mitteln
| C23F 1/00 |
Subject matter of subgroup G03F 1/68 in which the processes for preparing patterned radiation modifying products include an etching step to selectively remove material from a mask or a mask blank.
| Etching metallic material by chemical means | C23F 1/00 |