Gegenstand der Untergruppe
G03F 1/68,
wobei die Herstellungsverfahren zur Herstellung von gemusterten und Strahlung modifizierenden Produkten Methoden zur Reparatur oder zur Korrektur von Maskendefekten umfassen, z.B. durch Entfernen von überschüssigen Teilen oder Auffüllen von fehlenden Teilen.
Subject matter of subgroup G03F 1/68 in which the preparation processes for preparing patterned radiation modifying products include methods for repair or correction of mask defects. e.g., by removing excess part defects or filling in missing part defects.