Gegenstand der Hauptgruppe
G03F 1/00,
wobei die Herstellungsverfahren zur Herstellung der Strahlung modifizierenden Produkte und ähnlicher oder gleicher Produkte einen besonderen Vorbereitungsschritt, spezifische Herstellungsmethoden oder vorgegebene Entwurfsschritte zur Herstellung dieser Produkte umfassen, aber die Herstellungsverfahren nicht speziell von den vorherigen Untergruppen umfasst sind.
Subject matter of main group G03F 1/00 in which the preparation processes for preparing radiation modifying products and similar or like products include particular preparation steps, specific manufacturing methods, or given design steps for preparing these products, but which preparation processes are not specifically provided for in the previous subgroups.