Gegenstand der Untergruppe
G03F 1/62,
wobei die Pellikel spezielle Rahmen (z.B. Struktur oder Material) besitzen, umfassend Klebemittel für den Pellikelrahmen, welche eine Verbindung zwischen dem Rahmen und der Pellikelmembran oder zwischen einem Rahmen und einem Substrat des Strahlung modifizierenden Produktes schaffen.
Anmerkung: In dieser Untergruppe umfassen die Klebemittel oft eine adhäsive Schicht. Alternativ können die Klebemittel eine Struktur umfassen, die ein physikalisches Anhaften bewirkt.
Subject matter of subgroup G03F 1/62 in which the pellicles have special frames (e.g. structure or material), including bonding means for the pellicle frame, which establishes a bond between the frame and a pellicle membrane or between a frame and a substrate of a radiation modifying product.
Note. In this subgroup, the bonding means often includes an adhesive layer. Alternatively, the bonding means can include a structure that provides a physical attachment.