Gegenstand der Hauptgruppe
G03F 1/00,
wobei die Strahlen modifizierenden Produkte Maskenrohlinge zur Herstellung gemusterter Masken sind, und wobei die Herstellungsverfahren auf die Herstellung von solchen Maskenrohlingen gerichtet sind.
Subject matter of main group G03F 1/00 in which the radiation modifying products are mask blanks for producing patterned masks; and in which the processes of preparing are directed to preparation of such mask blanks.