Gegenstand der Untergruppe
G03F 1/26,
wobei die Phasenverschiebungsmaske (PSM) drei oder mehr unterschiedliche transmissive oder reflektive Teilbereiche auf ihr hat, die drei oder mehr unterschiedliche Phasen der austretenden Strahlung bereitstellen (z.B. Tri-Tone PSM für 0°, 90° und 180° Phasen), und wobei das Herstellungsverfahren auf die Herstellung solcher gemusterten Phasenverschiebungsmasken (PSM) gerichtet ist.
Subject matter of subgroup G03F 1/26 in which the phase shift mask (PSM) has three (3) or more different transmissive or reflective portions thereon that provide three (3) or more diverse phases of exiting illumination (e.g., tri-tone PSM for 0°, 90°, and 180° phases); and in which the process of preparing is directed to preparation of such a patterned PSM.