Gemusterte und Strahlung modifizierende Produkte, die chemisch definiert sind und gemustert wurden, um während der Bildgebung Strahlung zu modifizieren (z.B. Masken, Fotomasken, Retikel), die Herstellung solcher gemusterten und Strahlung modifizierenden Produkte, ähnliche oder gleiche Produkte, welche als Maskenrohlinge oder spezialisierte Substrate dienen, an sich, für die Herstellung solcher gemusterten und Strahlung modifizierenden Produkte, Verfahren zur Herstellung solcher Maskenrohlinge oder spezialisierter Substrate an sich (falls nicht anderweitig vorgesehen), Pellikel an sich oder Pellikel in Kombination mit gemusterten und Strahlung modifizierenden Produkten, Herstellungsverfahren für solche Pellikel (falls nicht anderweitig vorgesehen), besonders dafür ausgebildete Behälter, oder Herstellungsverfahren dafür (falls nicht anderweitig vorgesehen).
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Elektrografie; Elektrofotografie
| G03G |
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Fotomechanische Verfahren, Vorrichtungen, lichtempfindliches Material, z.B. Fotolack, allgemein
| G03F 7/00 |
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Verwendung von Fotolack-Strukturen für spezielle Produktionsprozesse, z.B.:
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| B44C |
| H01L 21/00 |
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Gedruckte Schaltungen; Einzelheiten von elektrischen Geräten; Herstellung von elektrischen Elementen allgemein
| H05K |
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Holografische Verfahren oder Vorrichtungen
| G03H |
In dieser Hauptgruppe wird auf jeder hierarchischen Ebene, in Abwesenheit einer gegenteiligen Angabe, an die erste geeignete Stelle klassifiziert.
Patterned radiation modifying products that are chemically defined and have been patterned to modify radiation during imaging (e.g., masks, photomasks, reticles), preparation of such patterned radiation modifying products, similar or like products that function as mask blanks or specialized substrates, per se, for preparing such patterned radiation modifying products, processes of preparing such mask blanks or specialized substrates, per se (when not provided for elsewhere), pellicles, per se or pellicles in combination with patterned radiation modifying products, processes of preparing such pellicles (when not provided for elsewhere), containers that are specially adapted therefor, or processes of preparing the same (when not provided for elsewhere).
| Electrography; electrophotography | G03G |
| Photomechanical process; apparatus; photosensitive material, e.g., photoresist, in general | G03F 7/00 |
| Use of photoresist structures for special production processes, e.g.: | |
| Producing decorative effects | B44C |
| Manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or parts thereof | H01L 21/00 |
| Printed circuits; details of electric apparatus; manufacture of electrical components, in general | H05K |
| Holographic processes or apparatus | G03H |
In this main group, at each hierarchical level, in the absence of an indication to the contrary, classification is made in the first appropriate place.