| Prüfen oder Messen während der Herstellung oder Behandlung | H01L 21/66 |
| Prüfen von Photovoltaikbauelementen | H02S 50/10 |
| Messung des Verunreinigungsgehaltes von Materialien | G01N |
| Prüfen von integrierten Schaltungen | G01R 31/28 |
| Einzelnes Halbleiterbauelement | Grundlegende Halbleiterkomponente oder grundlegender Halbleiterbaustein wie eine Diode oder ein Transistor. |
| Testing or measuring during manufacture or treatment | H01L 21/66 |
| Testing of photovoltaic devices | H02S 50/10 |
| Measurement of impurity content of materials | G01N |
| Testing of integrated circuits | G01R 31/28 |
| Individual semiconductor device individual semiconductor devices | Basic semiconductor component or building block such as a diode or a transistor |