Allgemeine SPM-Sondenhalterungen mit eingebauten Mitteln zum Anpassen der Sonde für die Korrektur der durch Temperaturunterschiede oder Vibrationen verursachten Fehler.
Fehlerkompensation allgemein | G01Q 30/06 |
Schutz des Rastersondenmikroskops allgemein | G01Q 30/18 |
General SPM probe holders with integrated means to adjust the probe to correct for errors caused by temperature variations or vibrations.
Error compensation in general | G01Q 30/06 |
Protection of the scanning probe microscope in general | G01Q 30/18 |