Struktur mit Nanometer-Auflösung, verwendet zum Korrigieren oder Wiederherstellen der Leistung eines Rastersondenmikroskopiegeräts vor dessen Nutzung, z. B. Gitter mit einem bekannten Gitterlinienabstand, und deren Herstellung.
Structure with nanometric resolution used for correcting or fixing the performance of the SPM device before its utilization, e.g. grating with a known line separation, and related manufacture.