Mittel zur Vermeidung einer Störung der Rastersondenmikroskopie (SPM) durch eine Bedingung außerhalb des Rastersondenmikroskops, z. B. Vibration, Temperatur oder Druck.
Das Rastersondenmikroskop ist als Ganzes gegen widrige Bedingungen geschützt; beispielsweise mit einem speziellen Gehäuse oder Vorrichtung für das Unterdrücken externer Vibrationen, um die Stabilität des Mikroskops zu gewährleisten, oder einer Abschirmung zum Schutz gegen elektromagnetische Felder.
| Mittel zum Einstellen der Umgebungsbedingung für die Probenkammer | G01Q 30/08 |
| Innerhalb der Sonde eingebaute Mittel zum Einstellen/Fehlerkompensation | G01Q 70/04 |
Means to prevent SPM from being disturbed by a condition outside the scanning probe microscope, e.g. vibration, temperature or pressure.
The SPM is protected as a whole under the adverse condition. For example, a specific housing or arrangement to eliminate external vibrations to assure the stability of the microscope, or shielding that protects it from electromagnetic fields.
| Environmental regulation means for sample chamber | G01Q 30/08 |
| Regulations/error compensation means integrated in the probe | G01Q 70/04 |